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近日，君創(chuàng)Family企業(yè)致真精密儀器（青島）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“致真精密”）自主研發(fā)的原子力顯微鏡（AFM）產(chǎn)品成功交付探生科技、東北大學(xué)、廈門大學(xué)等多家標(biāo)桿客戶，針對(duì)不同領(lǐng)域的科研與產(chǎn)業(yè)需求，提供了兼具性能優(yōu)勢(shì)與定制化功能的高端檢測(cè)設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)產(chǎn) AFM 在多領(lǐng)域應(yīng)用場(chǎng)景中的全面落地。

一、探生科技:多功能模塊支撐探針驗(yàn)證

探生科技采購(gòu)的致真精密 Atom Explorer 型原子力顯微鏡，憑借集成的多功能模塊，為客戶自研探針的各類驗(yàn)證提供了有力支持，成為其研發(fā)平臺(tái)的核心裝備。這款科研級(jí)原子力顯微鏡具備亞納米級(jí)高分辨率，能夠精準(zhǔn)觀察材料表面形貌與紋理，無論是納米級(jí)別的細(xì)微結(jié)構(gòu)，還是微米級(jí)別的宏觀特征，都能清晰捕捉，為材料與芯片表面形貌分析提供詳盡的視覺信息。

在功能拓展方面，Atom Explorer 還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、開爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡等多種功能模塊。其穩(wěn)定性強(qiáng)、可拓展性良好，能夠根據(jù)客戶需求提供定制化服務(wù)。

二、東北大學(xué):自動(dòng)化儀器賦能高效科研

針對(duì)材料科學(xué)與智能制造領(lǐng)域的高頻檢測(cè)需求，東北大學(xué)采購(gòu)的致真精密Atom Edge 型原子力顯微鏡，以 "智能化 + 易用性" 重新定義科研設(shè)備操作范式。設(shè)備自動(dòng)化程度高，操作流程簡(jiǎn)單無需過多設(shè)置；機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，換針操作簡(jiǎn)單，顯著降低科研人員的技術(shù)門檻，尤其適合多課題組共享使用場(chǎng)景。

三、廈門大學(xué):多功能集成打破學(xué)科壁壘

廈門大學(xué)采購(gòu)的致真精密Atom Explorer 型原子力顯微鏡，一套設(shè)備實(shí)現(xiàn)多種功能，包含形貌表征（輕敲模式、接觸模式）、磁學(xué)測(cè)量（MFM 磁力顯微鏡）、電學(xué)分析（EFM 靜電力顯微鏡、KPFM 開爾文探針力顯微鏡、PFM 壓電響應(yīng)力顯微鏡、STM 掃描隧道顯微鏡）等前沿功能，覆蓋材料科學(xué)、凝聚態(tài)物理、電子信息等多個(gè)學(xué)科的檢測(cè)需求，吸引了多個(gè)課題組前來培訓(xùn)學(xué)習(xí)。

四、國(guó)產(chǎn)高端儀器的破局之道:從技術(shù)領(lǐng)先到場(chǎng)景深耕

1.科研級(jí)原子力顯微鏡 AtomExplorer

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

AtomExplorer科研級(jí)原子力顯微鏡具備亞納米級(jí)高分辨率，用于觀察材料表面形貌、紋理，能夠在納米級(jí)別到微米級(jí)別的尺度上捕捉材料表面的微小特征和細(xì)微結(jié)構(gòu)，為材料與芯片的表面形貌提供詳盡的視覺信息。該產(chǎn)品還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、開爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡；穩(wěn)定性強(qiáng)，可拓展性良好，提供定制服務(wù)。該產(chǎn)品作為高精度形貌表征和納米磁學(xué)、電學(xué)測(cè)量工具，為高端科研與企業(yè)生產(chǎn)研發(fā)提供更多選擇和助力。

2.小樣品原子力顯微鏡AtomEdge

AtomEdge小樣品原子力顯微鏡可對(duì)材料、電子器件、生物樣本等進(jìn)行三維掃描成像。本產(chǎn)品最大可兼容4英寸樣品，具備接觸、輕敲、非接觸等多種工作模式，為用戶提供了更為靈活和精準(zhǔn)的操作選擇。此外，它還集成了磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、掃描開爾文顯微鏡、壓電力顯微鏡、刻蝕和納米操作等多種功能模式，穩(wěn)定性強(qiáng)，可拓展性良好。根據(jù)實(shí)際需求，還可拓展近場(chǎng)光學(xué)、拉曼/熒光光譜聯(lián)用、外加磁場(chǎng)、聲學(xué)原子力等功能，是一款真正意義上的小樣品原子力顯微鏡。

3.大樣品原子力顯微鏡AtomMax

利用微懸臂探針結(jié)構(gòu)可對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣品等固體材料進(jìn)行三維樣貌表征，可實(shí)現(xiàn)大晶圓級(jí)大樣品形貌表征。電動(dòng)樣品定位臺(tái)與光學(xué)圖像相結(jié)合，可在 300X300 mm 區(qū)域?qū)崿F(xiàn)1μm的定位精度，激光對(duì)準(zhǔn)，探針逼近和掃描參數(shù)調(diào)整完全自動(dòng)化操作。

此次多領(lǐng)域交付，不僅展現(xiàn)了致真精密 AFM 在噪聲控制（開環(huán)縱向噪聲低至 0.03nm）、分辨率（三維納米級(jí)）、環(huán)境兼容性（空氣、液相）等核心性能上的國(guó)際對(duì)標(biāo)實(shí)力，更體現(xiàn)了其 "以客戶需求定義產(chǎn)品" 的研發(fā)理念 —— 針對(duì)產(chǎn)業(yè)客戶強(qiáng)調(diào)模塊化與效率，針對(duì)高?？蛻魝?cè)重多功能與易用性，真正實(shí)現(xiàn) "一客一策" 的精準(zhǔn)賦能。

隨著半導(dǎo)體、新能源、生物醫(yī)藥等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)對(duì)納米表征技術(shù)的需求爆發(fā)，致真精密正以 "國(guó)產(chǎn)儀器 + 場(chǎng)景化解決方案" 雙輪驅(qū)動(dòng)，致力于加速實(shí)現(xiàn)高端科研裝備的自主可控，為中國(guó)科技創(chuàng)新注入 "硬核" 力量。